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发明名称 METHOD OF AND DEVICE FOR INSPECTING PATTERN OF PRINTED CIRCUIT BOARD
摘要
申请公布号 EP0467149(A3) 申请公布日期 1992.07.29
申请号 EP19910111012 申请日期 1991.07.03
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 KITAKADO, RYUJI;YANO, HIRONOBU;HOKI, TETSUO
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G01R31/308;G06T1/00;G06T7/00;H05K3/00;(IPC1-7):G06F15/70 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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