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经营范围
发明名称
INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04207047(A)
申请公布日期
1992.07.29
申请号
JP19900339802
申请日期
1990.11.30
申请人
TOUKIYOU EREKUTORON YAMANASHI KK
发明人
TAKAO ITARU
分类号
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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