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发明名称
VACUUM CHUCK
摘要
申请公布号
GB2220157(B)
申请公布日期
1992.07.29
申请号
GB19880027792
申请日期
1988.11.28
申请人
* M P L PRECISION LIMITED
发明人
LESLIE ERNEST * MULLINER
分类号
B25B11/00;H01L21/683;(IPC1-7):B25B11/00
主分类号
B25B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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