发明名称 DEVICE FOR OBTAINING SPECIMEN IMAGE BASED ON ELECTRON
摘要
申请公布号 JPH04206131(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900332033 申请日期 1990.11.29
申请人 JEOL LTD 发明人 KONDO KOJIN
分类号 H01J37/09;H01J37/12 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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