| 发明名称 |
PRECISION RESISTOR IN SELF-ALIGNED SILICIDED MOS PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5134088(A) |
申请公布日期 |
1992.07.28 |
| 申请号 |
US19900515854 |
申请日期 |
1990.04.27 |
| 申请人 |
DIGITAL EQUIPMENT CORPORATION |
发明人 |
ZETTERLUND, BJORN K. A. |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/329;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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