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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR DRY-ETCHING
摘要
申请公布号 JPH04206720(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900335951 申请日期 1990.11.30
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 MURAKI AKIRA;SHIMIZU KUNITAKA;YOSHIDA RISABURO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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