发明名称 EVALUATING DEVICE FOR BUMP ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH04206530(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900339869 申请日期 1990.11.29
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 MAEMURA KOUJI
分类号 H01L21/66;H01L21/321;H01L21/60 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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