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发明名称 DEVICE FOR SIMULTANEOUSLY INSPECTING AN OBJECT FOR DEFECTS AND DEBRIS
摘要
申请公布号 US5134278(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 US19900480643 申请日期 1990.02.14
申请人 501 HEUFT-QUALIPLUS B.V. 发明人 NELEN, LUCIEN J.
分类号 G01N21/88;G01N21/90 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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