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发明名称 GAS-BASED BACKSIDE PROTECTION DURING SUBSTRATE PROCESSING
摘要
申请公布号 US5133284(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 US19900554222 申请日期 1990.07.16
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORP.;NOVELLUS SYSTEMS 发明人 THOMAS, MICHAEL E.;VAN DE VAN, EVERHARDUS P.;BROADBENT, ELIOT K.
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;C30B25/12;C30B31/14;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/683 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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