发明名称 PROCESS FOR FORMING DEPOSITED FILM AND PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 US5134092(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 US19900587844 申请日期 1990.09.25
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MATSUMOTO, SHIGEYUKI;IKEDA, OSAMU;OHMI, KAZUAKI
分类号 H01L21/285;H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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