发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04206335(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900336658 申请日期 1990.11.30
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD 发明人 UENO TAKEO;YAGUCHI NORIE
分类号 H01J37/244;H01J37/26;H01J37/295 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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