| 发明名称 |
HEATING FURNACE CONTROL OF ION IMPLANTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04206242(A) |
申请公布日期 |
1992.07.28 |
| 申请号 |
JP19900329042 |
申请日期 |
1990.11.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ABE KATSUNOBU;USAMI YASUTSUGU |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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