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发明名称 NEGATIVE ION BEAM SOURCE
摘要
申请公布号 JPH04206199(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900331110 申请日期 1990.11.28
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KUME HIROSHI
分类号 H05H7/08;H01J27/20;H01J37/08 主分类号 H05H7/08
代理机构 代理人
主权项
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