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经营范围
发明名称
LIQUID METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPH04206243(A)
申请公布日期
1992.07.28
申请号
JP19900339871
申请日期
1990.11.29
申请人
SEIKO INSTR INC
发明人
SATO KEIJI;SUZUKI HIROYUKI;KITAMURA YOSHIE
分类号
C23C14/48;H01J27/22;H01J27/26;H01J37/08
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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