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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04206928(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900339475 申请日期 1990.11.30
申请人 KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD 发明人 HOSOKAWA YOICHI;KOBAYASHI KENJI;NAKAYAMA TAKEHISA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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