发明名称 CLEANING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04206636(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900330177 申请日期 1990.11.30
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NANBU MASATAKE;OKUAKI YUTAKA
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利