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发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04206949(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900339290 申请日期 1990.11.30
申请人 AISIN SEIKI CO LTD 发明人 NODA SHUJI
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8228;H01L27/082 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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