发明名称 LUMINESCENT BODY MONITOR IN SEMICONDUCTOR PROCESS
摘要
申请公布号 JPH04206540(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900329279 申请日期 1990.11.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 USUI TAKETO;KOBAYASHI JUNICHI
分类号 H01L21/66;H01L21/205;H01L21/302 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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