HEAT TREATMENT DEVICE,申请号JP19900329397-传众专利搜索

发明名称	HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04206515(A)	申请公布日期	1992.07.28
申请号	JP19900329397	申请日期	1990.11.30
申请人	HITACHI LTD	发明人	TOKUNAGA KENJI;KOSAKA YUJI;WATANABE KEIICHI;AOSHIMA TAKAAKI
分类号	H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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