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发明名称
EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04204946(A)
申请公布日期
1992.07.27
申请号
JP19900339327
申请日期
1990.11.30
申请人
KYOCERA CORP
发明人
MINAMINO YASUYUKI
分类号
G02B3/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G02B3/00
代理机构
代理人
主权项
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