| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING ACTIVE MATRIX SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04204887(A) |
申请公布日期 |
1992.07.27 |
| 申请号 |
JP19900338119 |
申请日期 |
1990.11.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAWASHIMA HIDEYA;ISHIHARA TOMOAKI |
| 分类号 |
G01R31/02;G02F1/13;G02F1/133;G09G3/36 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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