发明名称 SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04204304(A) 申请公布日期 1992.07.24
申请号 JP19900339028 申请日期 1990.11.30
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KOBAYASHI MASATO
分类号 G01B7/34;B23Q1/34;G01Q10/04;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
地址