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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04202662(A) 申请公布日期 1992.07.23
申请号 JP19900333595 申请日期 1990.11.30
申请人 ANELVA CORP 发明人 KUSAHARA YASUO;ARIGA YOSHIKI;MATSUBARA YASUSHI;KUROKI SHINJI
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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