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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0445083(B2)
申请公布日期
1992.07.23
申请号
JP19850202415
申请日期
1985.09.12
申请人
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB
发明人
TOOYAMA AKIRA;CHOMARU EIJI;SHIMADA HIROSHI
分类号
H04N7/18;G01B15/00;H01J37/28;H01L21/66
主分类号
H04N7/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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