METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM,申请号JP19900339163-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH04202762(A)	申请公布日期	1992.07.23
申请号	JP19900339163	申请日期	1990.11.30
申请人	HOYA CORP;MURAKAMI KOICHI	发明人	YOMOYAMA KAZUHIKO;MURAKAMI KOICHI;ETATSU OSAMU;MASUDA KOZO
分类号	C23C14/22;C23C14/28	主分类号	C23C14/22
代理机构		代理人
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