| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR CONTINUOUSLY FORMING FUNCTIONAL BUILD-UP FILM HAVING LARGE AREA BY MICROWAVE PLASMA CVD METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04202668(A) |
申请公布日期 |
1992.07.23 |
| 申请号 |
JP19900333833 |
申请日期 |
1990.11.30 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MURAKAMI TSUTOMU;KANAI MASAHIRO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
