发明名称 APPARATUS FOR ELECTRON BEAM VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH04202657(A) 申请公布日期 1992.07.23
申请号 JP19900336141 申请日期 1990.11.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUMIYOSHI MASAO
分类号 C23C14/30;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
地址