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发明名称 SILICONE RESIST MATERIALS CONTAINING POLYSILANES AND METHODS OF MAKING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0493367(A3) 申请公布日期 1992.07.22
申请号 EP19920103859 申请日期 1986.12.16
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 ONISHI, YASUOBU;HAYASE, SHUJI;HORIGUCHI, RUMIKO;HIRATA, AKIKO
分类号 C08G77/14;C08G77/26;C08G77/48;C08G77/60;C08L83/16;G03F7/075;(IPC1-7):C08G77/60;G03F7/016;G03F7/26 主分类号 C08G77/14
代理机构 代理人
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