发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT (IC) INCLUDING CIRCUIT ELEMENTS FOR EVALUATING THE IC AND MEANS FOR TESTING THE CIRCUIT ELEMENTS
摘要
申请公布号 EP0202905(B1) 申请公布日期 1992.07.22
申请号 EP19860303791 申请日期 1986.05.19
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 TAKEUCHI, ATSUSHI
分类号 H01L21/66;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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