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SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT (IC) INCLUDING CIRCUIT ELEMENTS FOR EVALUATING THE IC AND MEANS FOR TESTING THE CIRCUIT ELEMENTS
摘要
申请公布号
EP0202905(B1)
申请公布日期
1992.07.22
申请号
EP19860303791
申请日期
1986.05.19
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
TAKEUCHI, ATSUSHI
分类号
H01L21/66;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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