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发明名称 SUBSTRATE HEATER FOR MOLECULAR BEAM EPITAXIAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04202089(A) 申请公布日期 1992.07.22
申请号 JP19900329302 申请日期 1990.11.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 FURUSE MUNEO;TAKAHASHI NUSHITO;UEDA SHINJIRO;OGAWA YOSHIFUMI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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