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发明名称 METHOD OF MEASURING CHANGES IN IMPEDANCE OF A VARIABLE IMPEDANCE LOAD BY DISPOSING AN IMPEDANCE CONNECTED COIL WITHIN THE AIR GAP OF A MAGNETIC CORE
摘要
申请公布号 US5132617(A) 申请公布日期 1992.07.21
申请号 US19900525352 申请日期 1990.05.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 LEACH, MICHAEL A.;MACHESNEY, BRIAN J.;NOWAK, EDWARD J.
分类号 H01L21/304;B24B37/04;G01B7/14;H01L21/302;H01L21/66 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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