| 发明名称 |
PLANARIZATION METHOD FOR FABRICATING HIGH DENSITY SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5132237(A) |
申请公布日期 |
1992.07.21 |
| 申请号 |
US19910647494 |
申请日期 |
1991.01.28 |
| 申请人 |
MICROUNITY SYSTEMS ENGINEERING, INC. |
发明人 |
MATTHEWS, JAMES A. |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/417 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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