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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04199842(A)
申请公布日期
1992.07.21
申请号
JP19900336186
申请日期
1990.11.29
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TANAKA SHINJI
分类号
H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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