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经营范围
发明名称
PLASMA CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH04199816(A)
申请公布日期
1992.07.21
申请号
JP19900336166
申请日期
1990.11.29
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MORIMOTO KIYOSHI
分类号
C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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