发明名称
摘要
申请公布号 JPH0444425(B2) 申请公布日期 1992.07.21
申请号 JP19870322036 申请日期 1987.12.18
申请人 SHINKO ELEC IND 发明人 KOIZUMI YOSHIHARU
分类号 H01L21/56;H01L23/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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