发明名称 METHOD OF CONTROLLING OXYGEN CONCENTRATION IN SINGLE CRYSTAL AND AN APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 US5131974(A) 申请公布日期 1992.07.21
申请号 US19900614760 申请日期 1990.11.16
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 ODA, TETSUHIRO;SONOKAWA, SUSUMU;OZAKI, ATSUSHI;HISAICHI, TOSHIO
分类号 C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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