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发明名称 DETECTING METHOD FOR VAPOR-DEPOSITED METAL
摘要
申请公布号 JPH04199511(A) 申请公布日期 1992.07.20
申请号 JP19900325175 申请日期 1990.11.29
申请人 NIPPON INTER ELECTRONICS CORP 发明人 MURAYAMA YOSHIAKI;FURUYA SAKUJI;KONDO KAZUYOSHI
分类号 H01L21/285;H01L21/66 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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