发明名称 MANUFACTURE OF SOI WAFER
摘要
申请公布号 JPH04199608(A) 申请公布日期 1992.07.20
申请号 JP19900325973 申请日期 1990.11.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIYAYASU TORU;SUGIMOTO FUMITOSHI;ARIMOTO YOSHIHIRO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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