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发明名称 MANUFACTURE OF REFERENCE PARTICLE ATTACHED WAFER
摘要
申请公布号 JPH04199653(A) 申请公布日期 1992.07.20
申请号 JP19900326039 申请日期 1990.11.29
申请人 KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;OSAKA TITANIUM CO LTD 发明人 MIYAZAKI SUMIO;TAKESHITA MARIKO;HORIE HIROSHI
分类号 H01L21/66;H01L21/304 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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