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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04199629(A) 申请公布日期 1992.07.20
申请号 JP19900331708 申请日期 1990.11.29
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KATO JURI
分类号 H01L21/283;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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