| 发明名称 |
TESTING DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04199536(A) |
申请公布日期 |
1992.07.20 |
| 申请号 |
JP19900273449 |
申请日期 |
1990.10.15 |
| 申请人 |
JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD |
发明人 |
KIMURA KIYOSHI;HANAWA KAZUMI;MORI YASUHIRO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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