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经营范围
发明名称
ROTARY COATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04197468(A)
申请公布日期
1992.07.17
申请号
JP19900331127
申请日期
1990.11.29
申请人
FUJITSU LTD
发明人
URANO HIDEYUKI
分类号
G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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