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发明名称
DIELECTRICS ISOLATION SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH04196340(A)
申请公布日期
1992.07.16
申请号
JP19900326336
申请日期
1990.11.28
申请人
HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD
发明人
SUZUKI ITARU;SAKANIWA HIROTAKA;INOUE HIRONORI;URUNO TOSHIO;KURITA SHINICHI
分类号
H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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