发明名称 DIELECTRICS ISOLATION SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04196340(A) 申请公布日期 1992.07.16
申请号 JP19900326336 申请日期 1990.11.28
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 SUZUKI ITARU;SAKANIWA HIROTAKA;INOUE HIRONORI;URUNO TOSHIO;KURITA SHINICHI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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