| 发明名称 |
METHOD OF CONTROLLING THICKNESS OF SINGLE CRYSTALLINE THIN FILM LAYER OF SOI BOARD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04196559(A) |
申请公布日期 |
1992.07.16 |
| 申请号 |
JP19900332867 |
申请日期 |
1990.11.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
OTA YUTAKA;KATAYAMA MASAYASU;ABE TAKAO;NAKAZATO YASUAKI |
| 分类号 |
H01L21/66;C30B33/00;G01B11/06;H01L21/20;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/762;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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