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发明名称 METHOD FOR FILLING FINE HOLE WITH METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH04196343(A) 申请公布日期 1992.07.16
申请号 JP19900323026 申请日期 1990.11.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUJIKU SUSUMU
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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