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发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04196269(A) 申请公布日期 1992.07.16
申请号 JP19900327783 申请日期 1990.11.27
申请人 SHARP CORP 发明人 SHIRAKAWA KAZUHIKO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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