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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04196415(A) 申请公布日期 1992.07.16
申请号 JP19900327492 申请日期 1990.11.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IGARASHI TAKASHI;MORI HARUHISA;KASE MASATAKA
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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