发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04196429(A) 申请公布日期 1992.07.16
申请号 JP19900327917 申请日期 1990.11.28
申请人 NEC CORP 发明人 MIKAGI IKU
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址