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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04196442(A) 申请公布日期 1992.07.16
申请号 JP19900328074 申请日期 1990.11.28
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NATORI AKIO
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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