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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR TREATING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04196533(A) 申请公布日期 1992.07.16
申请号 JP19900328319 申请日期 1990.11.28
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 ODA MUNETAKA
分类号 H01L21/304;H01L21/316;H01L21/318 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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